Tyhjiöpäällystyskoneen monisiruisen vertailusirulaitteen suunnitteluominaisuudet
Jätä viesti
Tyhjiöpäällystyskoneen monisiruisen vertailusirulaitteen suunnitteluominaisuudet
1) Kiinteä sylinteri 3 Lieriömäisen muodon, suuren halkaisijan, paksuseinäisen rakenteen ja kehäsymmetrisen kiinnitysmenetelmän suunnittelulla voidaan varmistaa riittävä lujuus ja jäykkyys, ja samalla se voi myös estää korkean lämpötilan sputteroivaa hioma-ainetta saastuttamasta sen sisäosia , varmistaaksesi säätimen pyörimisen joustavuuden 15 .
2) Pyöreän laakerin istukan 2 rakenne varmistaa laakerin istukan asennuksen tiiviyden ja pystysuoran; lisää akselin 1 halkaisijaa, lisää asennusetäisyyttä laakerin istukan 2 kahden laakerin välillä, parantaa sen omaa lujuutta ja jäykkyyttä, varmistaa Akselin 1 jäykkyys ja valitsin 15 pyörimisjoustavuus pyörimisprosessin aikana ovat yhdenmukaisia asennon toistettavuuden kanssa.
3) Lataamalla transponointimekanismia laajentamalla tukilevyn 16 halkaisijaa, mekanismin tehollinen pinta-ala tasosuuntaan kasvaa ja voidaan asentaa halkaisijaltaan suuri (Φ26,5mm) vertailukalvo, joka on suotuisa. optisen reitin säätöön ja parantaa optisen kalvon laatua; Vertailukappale 12 on valmistettu yhdestä lasikappaleesta vertailukappaleyksikkönä. Vertailukappale ottaa käyttöön tilallisen kolmiulotteisen pinoamisasennusmenetelmän. Useita lasikappaleita pinotaan ja asennetaan vertailukappaleen säilytyssylinteriin 13 siten, että 50-100 kappaletta vertailukappaleita voidaan sijoittaa kerrallaan, mikä ratkaisee päällystyskoneen ongelman. Monikerroksisten tarkkuusoptisten kalvojen päällystäminen verrattuna siihen ongelmaan, että arkkien pieni määrä vaikuttaa pinnoitekerrosten määrään ja tarkkuuteen.
4) Kohdistuslevyn 6 ja rakotyyppisen optisen kytkimen 17 välinen yhteistyö rakotyyppisen optisen kytkimen kautta tunnistetaan kolme tasaisesti jaettua 120 asteen rakoa paikannuslevyssä ja moottorin pyöriminen ohjataan pysähtymään. . Akselin 1 pyörimisen ja asennon johdonmukaisuus taataan toistuvan, ja valitsinta 15 käytetään suorittamaan tarkka valitsintoiminto.
5) Pyörivä tiivisteen sisäänsyöttömekanismi viedään Wilsonin tiivistemekanismiin 5, joka ei ainoastaan takaa moottorin 9 käyttämän akselin 1 joustavan pyörimisen hammaspyörästön kautta, vaan myös varmistaa tyhjökammion tiivistyksen. ulkopuolella. Tyhjiöpäällystyskoneen monisiruisen vertailusirulaitteen optimoitu suunnittelu,
www.superbheater.com
