Sähköpinnoitettujen sähkölämmitysputkien tuottohäviö

Sähköpinnoitettujen sähkölämmitysputkien tuottohäviö

Galvanoinnissa ulkoneman korkeuden tasaisuuden tulee olla ± 1 mm:n sisällä, mikä ylittää huomattavasti stensiilitulostuksen tasaisuusindeksin. Tämä johtuu siitä, että mallin materiaalin paksuus ja laserleikkauksen tarkkuus vaihtelevat suuresti, ja mallin aukkoon jää pieni määrä juotospastajäämiä, joiden tyypillinen vaihteluväli on ± 7 mm.

Galvanoinnin tuottohäviö on ppm-tasolla tai jopa pienempi. Vikakriteerien määritelmän mukaan ulkoneman korkeuden tasaisuuden näkökulmasta galvanoinnissa on pienempi häviö kuin stensiilipainatuksessa. Siksi suurituottoisissa ja suurikokoisissa IC:issä galvanointi on edullinen tekniikka, ja tuoton menetys johtaa stensiilitulostuksen vertailukelpoisuuden menettämiseen.

Galvanoinnin aikana UBM on päällystettävä Ti/W/Cu:lla, joka ruiskutetaan tasaisesti koko kiekon pinnalle, minkä jälkeen fotolitografia muodostaa kuperat juotosliitokset. Ylimääräinen kuparipinnoitus kuluu osittain sulatusjuottamisen ja metalliyhdisteiden lämpöjännityksen vuoksi. Juotosmetalli kerrostetaan sähkökemiallisessa muodossa - metyylirikkihappoon perustuen. Galvanoinnin käsittelyajan pituus riippuu ulkonemien korkeudesta - toisin kuin juotospastalattiapainatuksessa - eli galvanointiaikaa rajoittaa pienempien ulkonemien korkeus. Kun galvanointikalvo on poistettu, Ti/W/CuUBM poistetaan etsausmenetelmällä. Refluksoi kerrostunut juote kiekon päälle pallomaisten ulkonemien muodostamiseksi ja puhdista sitten orgaanisten jäämien poistamiseksi.

FraunhoferIZM:ssä suoritettiin useita lyijytöntä juotossähköpinnoitusta ja suoritettiin perusteellisia havaintoja. Paras vaihtoehto SnPb-juotepastalle on SnAg (kuva 3), koska sillä on tiettyjä erityispiirteitä. Hopealla on suurempi elektrodien potentiaaliero, joten se on helpompi levittää kuin tina. Siksi hopea-ioneihin on lisättävä erittäin vahvoja koordinaatioaineita estämään hopean ennenaikaista kerrostumista.