Tyhjiöhopeaa reaktiivinen sputterointipinnoite

Tyhjiöhopeaa reaktiivinen sputterointipinnoite

Ensimmäinen on yhdistelmäpinnoitekohteiden käyttö. Sputteroinnin aikana kohdeyhdiste hajoaa ionipommituksen vaikutuksesta. Esimerkiksi kun sputterointikaasuna on käytetty puhdasta argonia, vasta valmistetun kalvon stoikiometrinen suhde vääristyy. Tunnettujen komponenttien häviämisen korvaamiseksi argoniin voidaan lisätä tietty määrä reaktiivista kaasua yhdisteiden muodostamiseksi, jotta varmistetaan, että kalvokerroksen koostumus pysyy muuttumattomana.

Toinen on käyttää puhdasta metallia, metalliseosta tai seosta pinnoituskohteena seka-sputterointiatmosfäärissä, joka koostuu inertistä kaasusta ja reaktiivisesta kaasusta, sputteroinnin ja kemiallisen reaktion avulla yhdistekalvon saamiseksi.

Suurin ero näiden kahden muodon välillä on kerrostumisnopeus ja reaktiokaasun paine. Reaktiiviset kaasut, joita voidaan käyttää reaktiiviseen sputterointiin, ovat: ilma, happi tai vesihöyry (oksidikalvon muodostamiseksi), typpi tai NH3 (nitridikalvon muodostamiseksi), happi plus typpi (oksinitridikalvon muodostamiseksi), H2S (muodostamaan sulfidikalvo) ), As (tuottaa arseenikalvoa) jne. Joidenkin näistä kaasuista on kiinnitettävä huomiota käytön turvallisuuteen.

Tällä hetkellä sylinterimäisen magnetronin sputterointikohteen halkaisija on saavuttanut 2,5 metriä ja tasomaisen magnetronin sputterointikohteen pituus on saavuttanut 6,5 metriä. Tehokkaiden laaja-alaisten magnetronisputterointikohteiden ilmaantuminen on avannut laajan tien sovelluksille suurvolyymissa teollisessa tuotannossa.

Tyhjiöhopeapinnoitusresistanssin haihtumislähteen haihdutusmenetelmän haitat

Vastushaihdutuslähteen haihdutusmenetelmän haittana on, että lämmityksellä saavutettava maksimilämpötila on rajoitettu ja lämmittimen käyttöikä on myös lyhyt. Viime vuosina haihtumisvastuslähteen käyttöiän parantamiseksi tyhjiöpinnoituslaitteiden tehtaat kotimaassa ja ulkomailla ovat käyttäneet haihdutuslähteenä boorinitridillä syntetisoimaa johtavaa keraamista materiaalia, jolla on pidempi käyttöikä. Japanilaisen patenttiraportin mukaan se voi käyttää materiaalia, joka koostuu 20-30 prosentista boorinitridistä ja tulenkestävästä materiaalista, joka voidaan sulattaa siihen haihdutuslähteen (upokkaan) muodostamiseksi ja päällystää sen pinnan kerroksella Sisältää 62. prosentista 82 prosenttiin zirkoniumia, ja loput on zirkonium-pii-seosta.

www.superbheater.com