Pohjamateriaalina tyhjiöhopeapinnoitettu pikateräs
Jätä viesti
Pohjamateriaalina tyhjiöhopeapinnoitettu pikateräs
Pohjamateriaaliksi valitaan M2-pikateräs, näytteen koko on 6mm × 6mm × 10mm ja leikkauskoetta varten valmistetaan useita samasta materiaalista valmistettuja hanat, joiden spesifikaatio on Φ10mm. Sputterointikohdemateriaalit ovat yksi pari titaanimetallikohdetta (puhtaus 99,99 prosenttia) ja grafiittikohde (puhtaus 99,99 prosenttia), ja kahdenlaisia kohteita (4 kohdetta) on järjestetty vuorotellen ja tasaisesti pinnoitekammion sisäseinään. Ennen pinnoittamista näytteen pinta hiottiin paljaalla silmällä näkyvien makroskooppisten naarmujen poistamiseksi ja kiillotettiin peilipinnaksi. Sitten hana ja näyte hiekkapuhallettiin pinnallisen kerroksen kontaminaatioiden poistamiseksi. Ultraäänipuhdistuksen jälkeen se kuivattiin ja asennettiin uuniin. Evakuoi 9,0×10-3Pa, esilämmitä työkappaletta 60 minuuttia ja käytä sitten argonionipommituksen vaikutusta substraatin etsaukseen ja puhdistamiseen negatiivisen esijännityksen alaisena 30 minuutin ajan. Ohutkalvon ja alustan välisen sidoslujuuden parantamiseksi substraatille kerrostetaan Ti-metallin siirtymäkerros haihdutusupokkaassa olevan Ti-metallilohkon avulla. Lopuksi TiCN-ohutkalvot valmistettiin paineessa 4,5 × 10-1 Pa ruiskuttamalla grafiittikohdetta ja titaanikohdetta 3 tunnin ajan. Jäähdytä 1 h pinnoituksen jälkeen ja ota näyte pois.
Typen ja argonin sekoitettu ilmakehä tyhjiöhopeapinnoitukseen
CH4:n tai C2H2:n sijasta valmistettiin TiCN-kalvoja sputteroimalla grafiitti- ja titaanikohteita typen ja argonin sekailmakehässä, ja tällä valmistusmenetelmällä saatujen TiCN-kalvojen koostumus, rakenne, kovuus ja sidoslujuus analysoitiin ja analysoitiin. analysoitu. Samalla tutkittiin tällä menetelmällä pikateräshanojen pinnalle kerrostettujen TiCN-kalvojen käytännön sovellutuksia.
www.superbheater.com
