Tyhjiöolosuhteet tyhjiöpäällystyskoneen haihdutusprosessissa
Jätä viesti
Tyhjiöolosuhteet tyhjiöpäällystyskoneen haihdutusprosessissa
Kun höyrymolekyylien keskimääräinen vapaa reitti tyhjiögalvanointikoneen tyhjökammiossa on suurempi kuin haihdutuslähteen ja substraatin välinen etäisyys, voidaan saavuttaa riittävät tyhjiöolosuhteet. Siksi on välttämätöntä lisätä jäännöskaasun keskimääräistä vapaata reittiä ja sitten vähentää törmäystodennäköisyyttä höyrymolekyylien ja jäännöskaasumolekyylien välillä, ja on erittäin välttämätöntä tyhjentää tyhjiökammio korkeaan tyhjiöön.
Tyhjiöpinnoitusprosessissa tyhjiöpäällystyskoneella tyhjiöasteen vaatimus ei ole niin korkea kuin mahdollista, koska kun tyhjiökammion tyhjiöaste ylittää 10-6Pa, tyhjiö on paistettava ja tyhjennettävä kaasusta. järjestelmä sen saavuttamiseksi. Paistaminen saastuttaa alustan, joten kalvo muodostuu tässä tyhjiöasteessa, eikä kalvon laatu ole huonompi kuin ultrakorkealla tyhjiöllä valmistetun kalvon. Tämä on ongelma, joka on otettava huomioon imuroitaessa, eikä sitä pidä jättää huomiotta.
Tyhjiöpinnoituskoneen uusin pinnoitustekniikka - ionipinnoitus
Aineen haihduttamista kuumentamalla sen kerrostamiseksi kiinteälle pinnalle kutsutaan haihdutuspinnoitteeksi. Tämä on pinnoitustekniikan varhaisin sovellus, ja se on myös yksi nykyajan yleisimmin käytetyistä pinnoitustekniikoista; kun taas sputterointipinnoite tarkoittaa, että kun korkeaenergiset hiukkaset pommittavat kiinteää pintaa, kiinteällä pinnalla olevat hiukkaset voivat saada energiaa ja paeta pinnalta ja kerrostua alustalle; ja uusin tyyppi Päällystystekniikka - ionipinnoitus tarkoittaa ionien laskeutumista kiinteälle pinnalle sen jälkeen, kun haihtuneen aineen molekyylit ionisoidaan elektroniiskulla. Ionipinnoitusteknologialla tarkoitetaan tyhjöhaihdutus- ja katodisputterointitekniikan yhdistelmää. Siinä yhdistyvät haihdutus- ja sputterointitekniikan ominaisuudet, ja sillä on hyvät diffraktio-ominaisuudet. Se voi päällystää monimutkaisia muotoisia työkappaleita, mutta ionipäällystyskoneen hintaa verrataan Perinteiset tyhjiöpäällystimet ovat kalliimpia.
www.superbheater.com
