Tyhjiö päällystyskone magnetron sputterointi järjestelmä
Jätä viesti
Tyhjiö päällystyskone magnetron sputterointi järjestelmä
Magnetronisputterointijärjestelmässä 100-1000 Gaussin voimakas magneetti sijoitetaan katodikohteen taakse ja tyhjiökammio täytetään inertillä kaasulla (Ar), jonka paine on 011-10 Pa kaasun kantajaksi. purkaa. Korkean jännitteen vaikutuksesta Ar-atomit ionisoituvat Ar plus -ioneiksi ja elektroneiksi. Kiihtyessään ja lentäessään substraatille elektroneihin vaikuttaa sähkökenttää vastaan kohtisuorassa oleva magneettikenttä, mikä saa elektronit taipumaan ja sitoutumaan plasma-alueella lähellä kohdepintaa. Se etenee pitkin kohdepintaa sykloidisesti ja törmää Ar-atomien kanssa jatkuvasti liikkeen aikana ionisoimalla suuren määrän Ar plus -ioneja.
Tyhjiöpäällystimen erittäin korkea kovuus ja kulutuskestävyys
1. Koska pinnalla olevan pinnoitemateriaalin kovuus ja kulutuskestävyys ovat erittäin korkeat verrattuna päällystämättömään kovametalliin, päällystetty kovametalli mahdollistaa suuremman leikkausnopeuden, mikä parantaa käsittelyn tehokkuutta; Parantaa merkittävästi työkalun kestävyyttä samalla leikkausnopeudella.
2. Koska pinnoitemateriaalin ja käsiteltävän materiaalin välinen kitkakerroin on pieni, pinnoitetun terän leikkausvoima pienenee jossain määrin pinnoittamattomaan terään verrattuna.
3. Kun pinnoitettu terä on käsitelty, käsitellyn pinnan laatu on parempi.
4. Hyvän kokonaissuorituskyvyn ansiosta pinnoitetulla terällä on parempi monipuolisuus. Päällystetyllä terälaadulla on laaja valikoima sovelluksia.
Tyhjiöpäällystimen molekyylipumppu ja kryopumppu pääpumppuna
Öljytön tyhjiö Xiyong käyttää molekyylipumppua ja kryogeenistä pumppua pääpumppuna, ja sen ominaisuudet keskittyvät pääasiassa siihen, että se voi jatkuvasti pumpata suuren määrän ilmaa ja saada puhdasta ja öljytöntä ultrakorkeaa tyhjiötä. Ja järjestelmässä on nopea käynnistysaika ja lyhyt pumpun pysäytysaika. Raskasta kaasua pumppaava järjestelmä on kuitenkin nopeampi kuin kevyen kaasun pumppaus, ja vesihöyrytyypin pumppausnopeus on suhteellisen hidas. Kun suuri määrä kaasua kulkee pumpun läpi, pumppausnopeus laskee nopeasti.
www.superbheater.com
