Tyhjiöpäällystyskone on yhdistettävä useisiin erilaisiin pumppuihin toimiakseen keskenään
Jätä viesti
Tyhjiöpäällystyskone on yhdistettävä useisiin erilaisiin pumppuihin toimiakseen keskenään
Tyhjiöpumppua valittaessa on ennen kaikkea kiinnitettävä huomiota siihen, vaikuttaako tyhjiöpumpun käytön aikana syntyvä tärinä prosessiin ja ympäristöön. Jos prosessi vaikuttaa, on ryhdyttävä tärinänvaimennustoimenpiteisiin tai valittava toinen tyhjiöpumppu. Kun valitset, sinun on tiedettävä pumpattavan kaasun koostumus. Jos tarvitaan valikoivaa pumppausta, yksi pumppu ei välttämättä riitä täyttämään vaatimuksia, ja useita erilaisia pumppuja on yhdistettävä toimimaan yhdessä. Jos tyhjiöpäällystyslaitteiston pinnoitus ei vaadi öljyä, on valittava öljytön pumppu.
Tyhjiöpumpun hinta ja ylläpitokustannukset ovat myös yksi tärkeimmistä huomioistamme.
Tyhjiöpäällystimen jäähdytys on välttämätöntä kaikille lähteille (magnetroni, monikaari, ioni)
Eristeiden magnetronireaktiivinen sputterointi näyttää helpolta, mutta varsinainen toiminta on vaikeaa. Suurin ongelma on, että reaktio ei tapahdu vain osan pinnalla, vaan myös anodilla, tyhjökammion pinnalla ja kohdelähteen pinnalla. Aiheuttaa siten palon sammuttamista, kohdelähteen ja työkappaleen pinnan kipinöimistä ja niin edelleen. Leyboldin Saksassa keksimä kaksoiskohdelähdeteknologia ratkaisee tämän ongelman erittäin hyvin. Periaate on, että kohdelähteiden pari ovat toistensa katodi ja anodi, mikä eliminoi anodin pinnan hapettumisen tai nitridoitumisen. Jäähdytys on välttämätöntä kaikille lähteille (magnetroni, monikaari, ionit), koska suuri osa energiasta muuttuu lämmöksi. Jos jäähdytystä ei ole tai jäähdytys on riittämätön, tämä lämpö saa kohdelämpötilan nousemaan yli 1,000 asteeseen ja sulattaa koko kohdelähteen.
www.superbheater.com
