Tyhjiöpäällystyskone parantaa huomattavasti kalvon rakennetta ja mekaanisia ominaisuuksia
Jätä viesti
Tyhjiöpäällystyskone parantaa huomattavasti kalvon rakennetta ja mekaanisia ominaisuuksia
Se kerrostetaan alustan pinnalle tyhjiöympäristössä, joka sisältää inerttiä kaasua tai reaktiivista kaasua. Suuren energian omaava ionisäde on erittäin hyödyllinen parantamaan kalvosubstraatin sidosvoimaa ja häiritsemään kalvon pylväskiderakennetta, mikä voi myös parantaa huomattavasti kalvon organisaatiota. Rakenteelliset ja mekaaniset ominaisuudet. Tällä hetkellä useat ohutkalvolaitteiden valmistajat ovat ottaneet käyttöön erilaisia toimenpiteitä vähentääkseen "pisaroiden" muodostumista tutkimalla kalvonmuodostusperiaatteita ja -prosesseja.
Niistä BAI1200 ja RCS ottavat käyttöön pyöreän tasokatodilähdeteknologian ja säteilylämmitystekniikan, joka voi suorittaa nopean pinnoitteen tuotannon. Tällä prosessilla valmistettu TiAlN voi parantaa koneistustyökalun leikkuureunan vakautta ja mahdollistaa kuivaleikkauksen.
Vacuum Coater katodikaaritekniikka
Tyhjiöpäällystyskoneen katodikaaritekniikka on tekniikka, joka käyttää kaaripurkausta tyhjiöympäristössä kiinteän katodin kohteen haihduttamiseksi ja ionisoimiseksi ja sitten lentää anodisubstraatin pinnalle kalvon kerrostamiseksi plasman vahvistavan vaikutuksen kautta. . Tästä johtuen katodikaaritekniikalla on erittäin korkeat laskeutumisnopeudet.
Tyhjiöpäällystyskone voi suorittaa passiivisesti dynaamisen suojauksen
Tyhjiöpäällystyskoneessa on itseohjautuva tunnistuslaite, joka voi suorittaa passiivisesti dynaamisen suojauksen. Varsinaisessa käyttöprosessissa ilmaisinlaitteen tutkimiseksi ja parantamiseksi, ottaen huomioon, että lämpötila vaikuttaa suodatinmateriaalin adsorptio- ja absorptiokykyyn, laite sijoitetaan ilmastoituun huoneeseen. Kosteus vaikuttaa toisaalta suodatinmateriaalien kosteuden imeytymiseen ja reagenssien absorptiokykyyn, mikä vaatii tiukkaa valvontaa. Se määräytyy katalyytin mittausputken ja ominaisnopeuden mukaan. Virtausnopeus on kääntäen verrannollinen dynaamiseen suoja-aikaan, ja reagenssipitoisuus on myös kääntäen verrannollinen dynaamiseen suoja-aikaan. Vaihtelu vaikuttaa myös loppupisteen määrittämiseen.
Vaatimusten täyttämiseksi tehdään ajoittain erilaisia parannuksia. Pääasia on, että lämpötila- ja kosteusanturia E plus E29 käytetään korvaamaan märkä- ja kuivakosteusmittari. Suihkupumpputekniikka toteuttaa reagenssien tasaisen sekoittumisen pitkäksi aikaa ja pitoisuus on vakaa alemmassa reagenssipaineessa.
www.superbheater.com
