Tyhjiömuovauskoneen elektronisuihkupäällystyskoneen pintalämpötila on verrannollinen elektronisuihkun intensiteettiin

Tyhjiömuovauskoneen elektronisuihkupäällystyskoneen pintalämpötila on verrannollinen elektronisuihkun intensiteettiin

Kalvojen ja koneistettujen osien pintalämpötila on verrannollinen elektronisuihkun intensiteettiin. Elektronisuihkun intensiteettiä voidaan ohjata ohjaamalla filamentille menevää virrankulkua, jolloin ohjataan ohutkalvomateriaalin ja koneistettujen osien pintalämpötilaa.

Tyhjiömuovauskoneen elektronisuihkupäällystyskoneen on esilämmitettävä filamentti ensin

Kun elektronisuihkupäällystin toimii, filamentti on esilämmitettävä ensin. Hehkulangan esilämmitysvirta on 60-90A, ja esilämmitysaika on yli 20 minuuttia. Kun filamentti on lämmitetty, elektronien potentiaalienergia hehkulangassa (katodissa) kasvaa valmistautuessaan elektronien emissioon. Tällä hetkellä, kun jännite 20KV]JI~ (2) kytketään päälle, hehkulanka (katodi) alkaa lähettää elektroneja sähkökentän vaikutuksesta. Fokusointijärjestelmän, poikkeutuskelan ja kiihdytysjännitteen yhteistoiminnassa hehkulangan (katodin) emittoimat elektronit kootaan säteeksi ja emittoidaan prosessoitavaan kalvomateriaaliin tai osaan erittäin suurella nopeudella.

Toimenpiteet tyhjiöpinnoituslaitteiden kalvokerroksen parantamiseksi:

(1) Paista pinnoituksen jälkeen. Kun viimeinen kalvokerros on päällystetty, älä lopeta paistamista heti, vaan jatka "karkaisua" 10 minuuttia. Tee kalvon rakenteesta vakaampi.

(1) Jäähdytysaikaa pidennetään asianmukaisesti ja hehkutusvanhentaminen suoritetaan. Vähennä lämpökuormitusta, joka johtuu liiallisesta lämpötilaerosta tyhjökammion sisällä ja ulkopuolella.

(2) Heijastavan kalvon ja suodatinkalvon haihdutusprosessin aikana substraatin lämpötila ei saa olla liian korkea, ja korkea lämpötila on helppo synnyttää lämpöjännitystä. Ja sillä on negatiivinen vaikutus titaanioksidin, tantaalioksidin ja muiden kalvomateriaalien optiseen stabiilisuuteen.

(iii) Ioniavusteinen pinnoitusprosessi jännityksen vähentämiseksi.

(iv) Valitse sopiva kalvojärjestelmä, joka sopii yhteen ensimmäisen kalvomateriaalikerroksen ja alustan välillä. (Esimerkiksi viisikerroksinen heijastuksenestokalvo käyttää Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2; ZrO2 voi myös käyttää SV:tä -5 (ZrO2 TiO2 -sekoitettu kalvomateriaali) tai muu sekoitettu korkea taitekerroin kalvomateriaali.

(V) Pienennä sopivasti haihtumisnopeutta (Al2O3-2.5A/S; ZrO2-3A/S; MgF2-6A/S-viitenopeus)

(vi) Kaikki oksidikalvomateriaalit ovat hapella täytettyjä ja reaktiivisesti päällystettyjä, ja hapenottomäärää ohjataan eri kalvomateriaalien mukaan.

www.superbheater.com