Anturin miniatyrisointi ja sirutekniikka

Mikroelektromekaaninen järjestelmä (MEMS) on mikrojärjestelmä tai laite, joka integroi mikro-mekanismit, mikro-anturit, mikroaktivoiteet, ohjauspiirit, signaalinkäsittelyt, viestintä, rajapinnat, virtalähteet jne. Se on tekniikka suunnitellessaan, käsittelyssä, valmistuksessa, mittaamisessa ja mikro-nano-materiaalien mittaamisessa, valmistuksessa, valmistuksessa, mittaamisessa ja mikrotavoitteiden mittaamisessa.

MEMS-tekniikka sisältää: piismikromakkeustekniikan, syvän reaktiivisen ionin etsauksen, liga-tekniikan, molekyylikokoonpanoteknologian, irtotavarana mikromaiinan, pintamikromakkeiden, lasermikromakkeiden ja mikropakkaustekniikan.

Pilikromakkeustekniikka on MEMS: n yleinen tekniikka. Se on tarkkuus kolmiulotteinen käsittelytekniikka. Se on tekniikka anturien, mikro-aktivointien, mikro-toimenpiteiden ja mikro-mekaanisten järjestelmien kehittämiseksi. Sitä on käytetty onnistuneesti erilaisten mikro-anturien ja monitoimisten herkkien elementtijärjestelmien valmistukseen. Kuten mikro-ja-silicon-kapasitiiviset anturit, mikro- ja piikkimassan virtausanturit, dynaamiset anturit ja mikro-anturit ilmailu-, autopaine- ja kiihtyvyysantureille, ympäristönsuojelulle mikrokemialliset anturit jne.

Anturimaryhmien integraatiotekniikka ja monen sensing-parametrikomposiitti

Integraatiolla tarkoitetaan useiden anturifunktioiden integrointia tietojenkäsittelyn, tallennustilan, kaksisuuntaisen viestinnän jne., Kuten paine, staattisen paineen, lämpötilan kolmen muuttujan anturin kanssa; ilmanpaine, tuulivoima, lämpötila, kosteus nelimuutosanturi; Mikro pii -komposiittijännityspaine -anturi ja ryhmäanturi jne. Kaikki käyttävät integraatiotekniikkaa. Integrointiprosessi ja monimuuttuinen komposiitianturin mikrorakenne Integroitu valmistusprosessi, kuten paine, staattinen paine, lämpötila kolmimuuttuva anturi, ilmanpaine, tuulivoima, lämpötila, kosteus nelimuutosanturi, mikro pii-komposiittijännityspaine-anturi, ryhmäanturi.

Anturin integrointia on kahta tyyppiä: yksi on rakentaa sirulle useita anturimoduuleja mikrohuollon tekniikan kautta lineaarisen anturin muodostamiseksi (kuten CCD-kuvaanturi); Toinen on tehdä herkät komponentit, joilla on erilaiset toiminnot samassa piisirussa, jotta saadaan integroitu monitoiminen anturi, jolla on korkea integraatio, pieni koko ja helppo kompensointi ja korjaus.