Pulssilaserpinnoitus (PLD) tyhjiöpäällystyslämmitysputkille

Pulssilaserpinnoitus (PLD) tyhjiöpäällystyslämmitysputkille

Pulssilaserpinnoitus (PLD), joka tunnetaan myös nimellä pulssilaser-ablaatio (PLA), on menetelmä pommittaa kohdetta laserilla ja saostaa sitten pommitettu materiaali eri substraateille, mikä on tapa saada saostuma tai kalvo.

Pulssilaserpinnoitustekniikan periaatteesta ja ominaisuuksista voidaan nähdä, että kyseessä on ohutkalvon valmistustekniikka, jolla on suuri kehityspotentiaali. Apulaitteiden ja prosessien optimoinnin myötä sillä tulee olemaan tärkeä rooli toiminnallisten ohutkalvojen, kuten puolijohdeohutkalvojen, superhilojen, suprajohteiden ja biopinnoitteiden valmistuksessa; se voi myös nopeuttaa ohutkalvon kasvumekanismin tutkimusta ja parantaa ohutkalvojen levitystasoa. , nopeuttaa materiaalitieteen ja kondensoituneen aineen fysiikan tutkimuksen edistymistä. Samalla se tarjoaa myös tehokkaan menetelmän uusien ohuiden kalvojen valmistukseen.

Tyhjiögalvanoivien sähkölämmitysputkien molekyylisuihkuepitaksi (MBE)

Molecular beam epitaxy (MBE) on hiljattain kehitetty epitaksiaalinen kalvonvalmistusmenetelmä, ja se on uusi tekniikka korkealaatuisten kideohutkalvojen kasvattamiseen kidealustoille. Ultrakorkeassa tyhjiössä eri tarvittavilla komponenteilla varustetussa uunissa kuumentamalla syntyvä höyry, pienen reiän läpi kollimoitumisen jälkeen muodostunut molekyylisäde tai atomisäde suihkutetaan suoraan sopivan lämpötilan yksikidealustalle, ja samaan aikaan Säätämällä molekyylisädettä substraatin skannaamiseksi, molekyylejä tai atomeja voidaan järjestää kerros kerrokselta muodostamaan ohut kalvo substraatin päälle.

Tämän tekniikan etuja ovat: käytetyn substraatin lämpötila on alhainen, kalvokerroksen kasvunopeus on hidas, säteen intensiteetti on helppo säätää tarkasti ja kalvokerroksen koostumusta ja seostuspitoisuutta voidaan säätää nopeasti muutoksella. lähteestä. Tällä tekniikalla on pystytty valmistamaan kymmeniä atomikerroksia ohuita yksikiteisiä ohuita kalvoja sekä ultraohuita kvanttimikrorakennemateriaaleja, jotka on muodostettu vuorotellen kasvattamalla eri koostumuksellisia ohuita kalvoja ja dopingia.

Molekyylisäteen epitaksia voidaan käyttää paitsi useimpien olemassa olevien laitteiden valmistukseen, myös monien uusien laitteiden valmistamiseen, mukaan lukien ne, joita on vaikea saavuttaa muilla menetelmillä, kuten superhilarakenteen suuren elektroniliikkuvuuden transistorit ja monet kvanttikuivon laserdiodit, jne. Linja-autossa näkemämme aseman ilmoitustaulu ja stadionilla näkemämme suuri näyttö, sen valoa säteilevät elementit on valmistettu molekyylisäteen epitaksiasta.

www.superbheater.com