Sähkölämmitysputkien galvanointiyhdisteiden valmistus

Sähkölämmitysputkien galvanointiyhdisteiden valmistus

Useimmat yhdisteet hajoavat kokonaan tai osittain lämpöhaihdutuksen aikana, joten yksinkertaisilla haihdutustekniikoilla ei voida tuottaa kemiallisesti verrannollista kalvokerrosta yhdistepinnoitusmateriaalista. Jotkut yhdisteet, kuten kloridit, sulfidit ja selenidi, ja jopa muutama oksidi, kuten B2O3 ja SnO, voidaan kuitenkin haihduttaa. Koska ne harvoin hajoavat tai tiivistyessään, eri komponentit yhdistyvät uudelleen.

(3) Korkean sulamispisteen yhdisteiden pinnoitus

Materiaalien, kuten oksidien, karbidien ja nitridien, sulamispiste on yleensä korkea, ja tällaisten yhdisteiden valmistuskustannukset ovat myös erittäin kalliita. Siksi "reaktiohaihdutuspinnoitusmenetelmää" käytetään usein näiden yhdisteiden ohuiden kalvojen valmistukseen. Kuten Tic, Cr2O3, Si02, Ta2O5, ZrN, Al2O3, AlN, TiN ja TiC. Reaktiivinen haihdutusmenetelmä on haihduttaa kiinteät materiaalit ilmakehässä, joka on täytetty aktiivisella kaasulla, jolloin nämä kaksi reagoivat alustalla ja muodostavat yhdistepinnoitteen. Esimerkiksi pinnoitus, TiC) sisältää asetyleenikaasun syöttämisen tyhjökammioon samalla kun T haihdutetaan, ja sitten Ti:n saattaminen reagoimaan asetyleenin kanssa substraatilla Tic-kalvokerroksen saamiseksi. Jos haihdutuslähteen ja substraatin väliin muodostuu plasma, se voi lisätä energiaa, ionisaationopeutta ja kemiallisen reaktion astetta reaktiokaasujen välillä, jota kutsutaan "aktiiviseksi reaktiohaihdutuspinnoitukseksi".

(4) Ionisädeavusteinen haihdutuspinnoitusmenetelmä

Kun haihtuvat atomit tai molekyylit saavuttavat substraatin pinnan, energia on hyvin alhainen (noin 0,2 ev), ja kerrostuneet hiukkaset luovat varjovaikutelman myöhemmin lentäviin hiukkasiin, mikä johtaa pylväsmäiseen rakeiseen aggregaattirakenteeseen. kalvokerroksessa on monia huokosia. Tarttuvuus on huono, ja se imee helposti kosteutta ja muita kaasukomponentteja, mikä johtaa epävakaisiin ominaisuuksiin. Tämän tilanteen parantamiseksi pommitukseen voidaan käyttää ionilähteitä. Ennen pinnoittamista käytetään muutaman sadan elektronivoltin ionisädettä pommittamaan substraattia puhdistamaan ja tehostamaan pinta-aktiivisuutta, ja sitten matalaenergia-ionisädettä käytetään pommitukseen haihdutuksen aikana. Esimerkiksi käyttämällä mangaani-ionisuihkua avustettua haihdutusta Zns: Mn elektroluminesoivien ohuiden kalvojen saamiseksi. Lisäksi tätä menetelmää voidaan käyttää myös yhdistelmäkalvojen jne. valmistukseen.

www.superbheater.com