Tarkkuusmagnetronisputterointi optinen pinnoituskone
Jätä viesti
Tarkkuusmagnetronisputterointi optinen pinnoituskone
Sputterointijärjestelmässä on useita sylinterimäisiä kohteita sivuseinässä, mikä lisää pinnoitusnopeuksia ja monikerroksisia pinnoitteita. Järjestelmä on varustettu DC-pulssi- tai RF-teholla pyöreillä katodeilla, pystysuoraan asennetuilla substraateilla ja sylinterimäisillä katodeilla. Päällystysprosessin hiukkaspäästöt vähenevät huomattavasti, ja tuotannon tehokkuus ja kalvon suorituskyky paranevat huomattavasti useiden onteloiden joustavan yhdistelmän ansiosta.
Erittäin tarkka monionteloinen magnetronisputterointi optinen pinnoituskone
Laite on varustettu RF-ICP-avusteisella magnetronisputteroinnilla jälkihapetustilassa, jolla on korkeat kerrostumisnopeudet ja vastaavat optiset ominaisuudet. Se soveltuu AR-kalvon pinnoittamiseen ajoneuvon kansilasiin ja 3C-tuotteiden etulasiin. AR-kalvo voi olla tavallinen SiO2 plus Nb2O5 -kalvojärjestelmä tai kova SiO2 plus Si3N4 -kalvojärjestelmä. Samalla se soveltuu myös 3C-tuotteen takakannen värikalvon (mukaan lukien gradienttivärikalvon) ja NCVM-kalvon käsittelyyn.
Tyhjiöpäällystyskone Korkean tarkkuuden magneettisputterointi optinen pinnoituskone
Laitteen modulaarisessa rakenteessa voidaan yhdistää plasmapuhdistusyksikkö (Plasma-clean), magnetronisputterointiyksikkö (SPT), plasman tehostettu kemiallinen reaktioyksikkö (PECVD), atomikerrospinnoitusyksikkö (ALD) ja plasmakemiallinen reaktioetsaus (RIE) -yksikkö. ) yksikkö laajentaa klusteroitua mikronanokäsittelykeskusta kattamaan koko substraatin puhdistuksen, kalvopinnoituksen (mukaan lukien ultraohut kalvot) ja kuviollisen etsauksen puolijohteiden mikronanorakenteiden käsittelyä varten.
Tyhjiöpäällystimen erittäin paksu monielementtinen seospinnoite ja erittäin paksu nitridipinnoite
Monikomponenttisen metalliseospinnoitteen jatkuvan kerrostuksen paksuus voi olla yli 120 um, yhden kohteen kolmiulotteinen kierto voidaan saavuttaa suurempi tai yhtä suuri kuin 6,5 um/h ja nitridipinnoitteen jatkuva kerrostaminen on yli 25 um , yhden kohteen kolmiulotteinen kierto voidaan saavuttaa suurempi tai yhtä suuri kuin 3 um/h, ja työkappaleen pinnan kovuus paranee. Uusi ratkaisu tarjotaan lentokonemoottorien siipien korjaukseen ja höyryturbiinien siipien reunojen kulumiseen.
www.superbheater.com
