Optimaaliset olosuhteet useiden yhdistelmäpinnoitteiden valmistukseen sähkölämmitysputkien tyhjiöpäällystykseen reaktiivisella haihdutuksella
Jätä viesti
Optimaaliset olosuhteet useiden yhdistelmäpinnoitteiden valmistukseen sähkölämmitysputkien tyhjiöpäällystykseen reaktiivisella haihdutuksella
Kuten alla olevasta kuvasta näkyy, Ca:n ja As:n höyrynpaineiden ero saavuttaa neljä suuruusluokkaa. Puolijohdeyhdistekalvot III-V ovat yleensä yksittäiskiteiden muodossa. Mutta yleisesti ottaen yksikideohutkalvoa tehtäessä substraatti on myös yksikide, ja substraatin lämpötila on pidettävä useissa sadoissa celsiusasteissa. Siksi ryhmän V alkuaineiden höyrynpaine on paljon korkeampi kuin ryhmän III, ja vaikka ryhmän V alkuaineita olisi yksinään, ne eivät kondensoidu alustalle. Kuitenkin, jos ryhmän III alkuaineita on läsnä ja sopivassa lämpötilassa ja paineessa, ryhmän V alkuaineiden höyrynpaine on tasapainossa ryhmän III-V yhdisteiden kiinteiden aineiden kanssa ja esiintyy rinnakkain. Hyvän yksikideohutkalvon valmistamiseksi substraatin lämpötilaa tulisi rajoittaa tiukasti. Siksi se eroaa metalliseosten valmistamisesta. Valmistettaessa yhdistepuolijohteita, erityisesti III-V-yhdisteiden yksikidepinnoitteita, on tarpeen kontrolloida substraatin lämpötilaa ja kahden haihdutuslähteen lämpötilaa, yhteensä kolme lämpötilaa. Tästä on peräisin niin sanotun kolmen lämpötilan menetelmän nimi. Se itse asiassa haihduttaa ryhmän III alkuaineita ryhmän V alkuaineiden ilmakehässä. Tässä mielessä se on myös samanlainen kuin reaktiivinen haihdutusmenetelmä.
Tyhjiöpinnoitus sähkölämmitysputki puhdasta metallimateriaalia alumiinia
Alumiinikalvoja voidaan käyttää johtimina, kondensaattorielektrodeina, heijastimina ja koristeena.
Alumiini sulaa 660 asteessa ja alkaa haihtua nopeasti 1100 asteessa. Alumiini on haihtuessaan suurnopeuskaasu, joka tunkeutuu tulenkestävän materiaalin huokosiin. Alumiini voi myös reagoida kemiallisesti keraamisten materiaalien kanssa korkeissa lämpötiloissa ja muodostaa matalassa lämpötilassa sulavia seoksia tulenkestävien metallien kanssa.
On todistettu, että höyrystyessään alumiini joko reagoi kemiallisesti upokkaan materiaalin kanssa tai upokkaan materiaali haihtuu. Sulan alumiinin kemiallinen reaktiivisuus tyhjiössä on vielä suurempi korkeammissa paineissa. Siksi alumiinin haihduttamisen lähde on valittava huolellisesti. Tällä hetkellä käytetään enimmäkseen volframilankaa tai tantaalilangan lämmityshaihdutuslähdettä. Suuria alumiinimääriä haihdutettaessa voidaan käyttää jatkuvaa langansyöttöä tai induktiokuumennushaihdutuslähteitä.
Tyhjiöpinnoitus sähkölämmitysputki puhdasta metallimateriaalia
Puhtaiden metallimateriaalien kohdalla, koska sen haihdutus (sublimaatio) on yksittäinen, alustalle kerrostettu kalvomateriaali on täsmälleen sama kuin haihdutuslähteestä lähtevä kalvomateriaali. Niin kauan kuin makasiinin sekoittumista kuumennus- ja haihdutusprosessin aikana vältetään, voidaan saada puhdas metallikalvokerros, jossa on yksi komponentti. Siksi sen haihtumisnopeuden ja yksittäisen metallin kylläisen höyrynpaineen välinen suhde voidaan saada käyttämällä seuraavaa kaavaa sen kylläisen höyryn paineen p selvittämiseksi:
www.superbheater.com
