Tyhjiöpäällystimen magneettiruiskutuksen säätöparametrit
Jätä viesti
Tyhjiöpäällystimen magneettiruiskutuksen säätöparametrit
Magnetronisputterointipäällystyslaitteiden laajan käyttökohteen määräävät tekniikan ominaisuudet, jotka voidaan tiivistää seuraavasti: ohutkalvomateriaaleina voidaan käyttää erilaisia materiaaleja, jotka voidaan valmistaa kohteiksi, mukaan lukien erilaiset metallit, puolijohteet, ferromagneettisten materiaalien materiaalit, sekä eristävät oksidit, keramiikka, polymeerit jne.
Lisäksi magnetronin sputteroinnin säätöparametrit voivat virittää kalvon suorituskyvyn, mikä sopii erityisen hyvin suuren alueen pinnoittamiseen, ja pinnoitusalue on tasaisempi.
Tyhjiöpäällystimen magnetronin sputterointiplasmaimpedanssi on alhainen
Magnetronisputterointipäällystyslaitteistolla voidaan valmistaa erilaisia ohuita kalvoja, ohuita kalvoja, joilla on eri toiminnot, ja se voi myös kerrostaa seoksia ja yhdistelmäohutkalvoja, joissa on sekoitettuja komponentteja; magnetronin sputterointiplasmaimpedanssi on alhainen, mikä johtaa korkeaan purkausvirtaan noin 500 V:n jännitteellä Purkausvirta voi olla 1A - 100A (riippuen katodin pituudesta); kalvonmuodostusnopeus on korkea, ja kerrostumisnopeutta voidaan muuttaa arvosta 1 nm/s arvoon 10 nm/s; kalvonmuodostuksen sakeus on hyvä useiden metrien katodissakin Sputteroinnissa kalvokerroksen tasaisuus voidaan silti varmistaa; substraatin lämpötilan nousu on alhainen; sputteroitujen hiukkasten energia on noin kymmeniä elektronivoltteja, kalvonmuodostus on suhteellisen tiheää ja kalvon pohja on hyvin sidottu.
Tyhjiöpäällystyskonelaitteiston lämmityslämpötila on liian korkea:
Koska diffuusiopumpun lämmittimen teho ei vastaa nimellistehoa, se on liian korkea, mikä johtaa suureen määrään höyryä, mikä voi aiheuttaa öljyn palautusta, ja se voidaan ratkaista vaihtamalla sähköuunin johto.
Tyhjiöpäällystyskoneen jäähdytysvesikanava ei ole tasainen tai vedenpaine ei ole riittävä:
Tämän seurauksena jäähdytysteho heikkenee, diffuusiopumpun yläosa kuumenee, eikä öljyhöyry pysty nesteytymään hyvin. Ratkaisu on yhdistää diffuusiopumpun tuloputki 4 mpa:n ilmalähteeseen kalkin puhaltamiseksi pois, ja myös poistoputki puhalletaan 4 mpa:lla. Jos hilse on erittäin paksu ja kiinteä, voidaan lisätä laimeaa suolahappoa. Tai vaihda diffuusiopumppu.
www.superbheater.com
