Virran paikallinen pitoisuus tyhjiöpäällystyskoneessa
Jätä viesti
Virran paikallinen pitoisuus tyhjiöpäällystyskoneessa
Korkean elektronitiheyden pisteen ulostyöntyvä osa tuottaa suuritiheyksisen virran, ja suuritiheyksinen virta voi tuottaa Joule-lämpöä ja saada pisteen lämpötilan jatkamaan nousuaan ja lähettää kuumia elektroneja. Tämä ilmiö johtaa paikalliseen virran pitoisuuteen.
Virran paikallisen pitoisuuden synnyttämä Joule-lämpö voi aiheuttaa massiivisen ioni- ja elektronipäästön katodimateriaalista vapauttaen sulan katodimateriaalin hiukkasia ja jättäen purkausjälkiä.
Osa ioneista suuressa määrässä syrjäytyneitä ioneja imetään takaisin katodimateriaalin pintaan avaruusvarauskerroksen ja voimakkaan sähkökentän regeneroimiseksi, ja äskettäin syntynyt piste, jolla on pieni työfunktio, alkaa taas emittoimaan elektroneja. .
Elektroneja vapautuu tyhjiöpäällystyslaitteiden raerajoista
Metalli-ionit vetäytyvät katodin pintaan ja voivat muodostaa tilavarauskerroksen. Tänä aikana laukaistu voimakas sähkökenttä aiheuttaa elektronien sinkoamisen mikrohalkeamista tai raerajoista, joilla on pieni työfunktio katodin pinnalla.
Tyhjiöpäällystyskoneen tyhjiösisäseinä ja kohdelähdeanodi
Monien törmäysten jälkeen elektronien energia laskee vähitellen, vapautuu magneettikenttälinjojen kahleista ja putoaa lopulta substraatille, tyhjökammion sisäseinään ja kohdelähteen anodille. Suurjännitesähkökentän kiihtyessä Ar plus -ionit törmäävät kohteeseen ja vapauttavat energiaa, jolloin kohteen pinnalla olevat atomit absorboivat Ar plus -ionien kineettistä energiaa ja irtautuvat alkuperäisestä hilasta, ja neutraalit kohdeatomit pakenevat kohteen pinnalta. Lennä alustalle ja kerrosta ohut kalvo alustalle.
www.superbheater.com
