Kuinka mitata tyhjiöpäällystyskoneen kalvon paksuus?
Jätä viesti
Kuinka mitata tyhjiöpäällystyskoneen kalvon paksuus?
Kun tyhjiöpäällystyskonetta on käytetty kalvon päällystämiseen, voi olla tarpeen mitata kalvokerroksen paksuus. Millä menetelmällä kalvokerroksen paksuus mitataan?
Suorin pinnoitteen ohjausmenetelmä on Quartz Crystal Micro-Balance Method (QCM). Tämä laite voi ohjata suoraan haihdutuslähdettä ja ohjata ohjauslevyä PID-säädön kautta haihtumisnopeuden ylläpitämiseksi.
Niin kauan kuin instrumentti on kytketty järjestelmän ohjausohjelmistoon, se voi ohjata koko pinnoitusprosessia. Mutta (QCM) tarkkuus on rajallinen, osittain siksi, että se valvoo kerrostettavan pinnoitteen laatua sen optisen paksuuden sijaan.
Lisäksi vaikka QCM on erittäin stabiili alemmissa lämpötiloissa, siitä tulee erittäin lämpötilaherkkä korkeammissa lämpötiloissa. Pitkäaikaisen kuumennuksen aikana on vaikea estää anturia putoamasta tälle herkälle alueelle, mikä aiheuttaa merkittäviä virheitä kalvoon.
Optinen valvonta on suositeltavin tarkkailumenetelmä erittäin tarkkoihin pinnoitteisiin, koska se mahdollistaa kerrospaksuuden tarkemman hallinnan (jos sitä käytetään oikein).
Tarkkuuden parantuminen johtuu monista tekijöistä, mutta olennaisin on optisen paksuuden seuranta.
Jos diffuusiopumppua on käytetty yhtäjaksoisesti yli 6 kuukautta, pumppausnopeus on selvästi hidastunut tai toiminta on virheellinen. Täytä ilma ilmaan, irrota liitosvesiputki, irrota sähköliesi ja ruuvaa irti ensimmäisen tason suutin. Pese sappirakko kerran, pese se sitten veteen sekoitettulla pesujauheella ja puhdista se sitten huolellisesti vedellä. Kun vesi on haihtunut ja kuivunut, asenna pumpun sappirakko, lisää uutta diffuusiopumppuöljyä ja laita se takaisin runkoon, kytke vesiputki ja asenna sähköuuni. levy, voit käynnistää uudelleen. Ennen kuin käynnistät uudelleen, kiinnitä huomiota vuotojen havaitsemiseen. Menetelmä on: käynnistä huoltopumppu, sulje ovi ja tarkkaile muutaman minuutin kuluttua, saavuttaako diffuusiopumpun tyhjiöaste 6X10 Pa, muuten on suoritettava vuotojen havaitseminen.
www.superbheater.com
