Kun piirin monimutkaiset kuviot on syövytetty piikiekolle, suojaava fotoresistinen maski-kerros sitkeää, silloitettua polymeeriä- on poistettava kokonaan ja puhtaasti. Tämä saavutetaan kuumassa kylvyssä, jossa on voimakkaita, aggressiivisia orgaanisia liuottimia, jotka lämmitetään usein yli sataan celsiusasteeseen. Tämän haihtuvan, syövyttävän kemian sisällä olevan uppolämmittimen on oltava materiaalista, jota liuottimet eivät voi liuottaa, turvota tai saastuttaa. PTFE on kemiallisesti mykkä, inertti materiaali.

PTFE-lämmittimien rooli fotoresistin kuorinnassa

Poistamishaude koostuu tyypillisesti liuottimien, kuten N-metyyli-2-pyrrolidonin (NMP), dimetyylisulfoksidin (DMSO) ja vahvojen alkalisten amiinien seoksesta, kuumennettuna 80–110 asteeseen. PTFE-upotuslämmitin on vakiovalinta tähän sovellukseen. Sen kemiallisesti inertti suojus kestää täysin aggressiivisia liuottimia, jotka muuten hyökkäsivät tavallisiin muoveihin ja syövyttäisivät metalleja.

PTFE-lämmitin tarjoaa puhdasta, vakaata ja tarkkaa lämpöä vapauttamatta metalli-ioneja tai muita epäpuhtauksia, jotka voisivat kertyä koskemattomalle kiekon pinnalle. Tarttumaton, sileä PTFE-pinta estää liuenneiden fotoresistijäämien kertymistä ja säilyttää täydellisen puhtaana lämmityspinnan toistuvien jaksojen aikana. PTFE-lämmittimen fotoresistin irrotuskiekkojen prosessi varmistaa tasaisen lämpötilan jakautumisen ja minimoi paikallisen kiehumisen tai törmäyksen, joka voisi häiritä herkkiä kiekkoja.

"PTFE-lämmitin on kemiallisesti hiljainen, kuuma sormi voimakkaiden liuottimien kylvyssä, joka poistaa maskin jättämättä jälkeäkään itsestään pitäen kiekon koskemattomana ja sähköisesti virheettömänä."

Turvallisuusnäkökohdat

Liuotinseos on syttyvää, myrkyllistä ja sitä käytetään usein lähellä sen kiehumispistettä. Oikea säiliön suunnittelu, mukaan lukien suljetut kotelot, maadoitus ja tuuletus, on pakollista tulipalon, höyrylle altistumisen tai sähköstaattisten vaarojen estämiseksi. Konservatiiviset wattitiheydet vaaditaan hallitun lämmityksen ylläpitämiseksi ja liuottimen törmäyksen tai paikallisen ylikuumenemisen välttämiseksi PTFE-vaipassa.

Toiminnalliset edut

PTFE-lämmittimien käyttö tässä prosessissa mahdollistaa:

Kemiallinen immuniteetti aggressiivisia liuotinseoksia vastaan.

Kiekkojen absoluuttisen puhtauden ja sähköisen eheyden ylläpito.

Pitkäaikainen{0}}luotettavuus ilman korroosiota tai hajoamista.

Tasainen, jäännös{0}vapaa kuumennus on kriittinen-saantopuolijohteiden valmistuksessa.

Johtopäätös

PTFE-upotuslämmitin on kriittinen, kemiallisesti immuuni lämmönlähde, joka mahdollistaa valoresistin puhtaan ja täydellisen poistamisen puolijohdevalmistuksessa olevista kiekoista. Tarjoamalla vakaata, epäpuhtauksista{1}}vapaata lämpöä erittäin aggressiivisessa liuotinkylvyssä, PTFE-lämmitin varmistaa nykyaikaiselle mikroelektroniikalle olennaisen atomipuhtauden. Tietokonesirun täydellinen, virheetön pinta saadaan aikaan yhdistämällä kemiallinen aggressio ja inertti, luotettava lämmitys.