Selitys lämpötilan kalibrointitekniikasta korkean lämpötilan hehkutusuunin lämpömittarille
Jätä viesti
On raportoitu, että korkean lämpötilan hehkutusuunissa käytetään suljetun silmukan ohjausjärjestelmää, joka koostuu kiihdytetystä digitaalisesta PLD-lämpötilansäätimestä, termoparista, pyrometristä ja lämmönlähteestä lämpötilan säätämiseksi oikein. Halogeenilamppujen yhteisohjauksella eri alueilla kunkin alueen lämpötilaero voidaan kompensoida lämpötilansäätöprosessin aikana, jolloin substraatin eri alueiden lämpötila pysyy muuttumattomana. Koska pyrometri on asennettu ontelon pohjalle, se voi vastaanottaa säteilyä vain alustan takaa, eikä se voi vastaanottaa säteilyä lampusta. Siksi pyrometri voi mitata tarkasti substraatin lämpötilan. Tämän pyrometrin lämpötilan kalibrointiperiaate on seuraava:
1. Pyrometerin esittely:
Tässä artikkelissa esitelty pyrometri on lämpösäteilyn optinen pyrometri. Kun pyrometri vastaanottaa infrapunasäteilyä mitatusta kohteesta, optinen signaali suodatetaan, muunnetaan valosähköiseksi ja vahvistetaan analogiseksi signaaliksi, joka lähetetään sitten anturin signaaliliitäntäpiirimoduuliin. Tämä moduuli suorittaa A/D-muunnoksen signaalille ja muuntaa sen digitaaliseksi signaaliksi, jonka tietokone voi tunnistaa. Tietokoneeseen takaisin syötettyä digitaalista signaalia kutsutaan seuraavassa tekstissä pyrometrin takaisinkytkentäarvoksi.
2. Lämpötilan kalibrointitaulukko:
Asiaankuuluvien lakien mukaan kohteen lämpötila on suhteessa sen säteilyyn ja spektriseen emissiokykyyn. Korkean lämpötilan hehkutusuuneissa pyrometrin vastaanottaman säteilyn määrä riippuu pääasiassa tekijöistä, kuten substraattimateriaalista, dopingista, pinnan luonnollisesta oksidikerroksesta ja alustan lämpötilasta. Samantyyppisille substraateille (eli substraateille, joissa on sama materiaali, seostus ja pinnallinen luonnollinen oksidikerros) pyrometrin vastaanottaman säteilyn määrä on suhteessa substraatin lämpötilaan. Siksi samantyyppiselle alustalle pyrometrin takaisinkytkentäarvo vastaa yksitellen substraatin lämpötilaa. Tämä vastaavuus muodostaa lämpötilan kalibrointitiedot, ja lämpötilan kalibrointitaulukkoa käytetään useiden substraattilämpötilojen ja pyrometrin palautearvojen välisten suhdetietojen tallentamiseen. Eri lämpötilat vastaavat pyrometrin erilaisia takaisinkytkentäarvoja. Korkean lämpötilan hehkutusuunitietokone voi laskea substraatin todellisen lämpötilan pyrometrin signaaliarvopalautteen ja lämpötilakalibrointitaulukon perusteella.
