Elektroneja vapautuu tyhjiöpäällystyslaitteiden raerajoista
Jätä viesti
Elektroneja vapautuu tyhjiöpäällystyslaitteiden raerajoista
Metalli-ionit vetäytyvät katodin pintaan ja voivat muodostaa tilavarauskerroksen. Tänä aikana laukaistu voimakas sähkökenttä aiheuttaa elektronien sinkoamisen mikrohalkeamista tai raerajoista, joilla on pieni työfunktio katodin pinnalla.
Tyhjiöpäällystyskoneen tyhjiösisäseinä ja kohdelähdeanodi
Monien törmäysten jälkeen elektronien energia laskee vähitellen, vapautuu magneettikenttälinjojen kahleista ja putoaa lopulta substraatille, tyhjökammion sisäseinään ja kohdelähteen anodille. Suurjännitesähkökentän kiihtyessä Ar plus -ionit törmäävät kohteeseen ja vapauttavat energiaa, jolloin kohteen pinnalla olevat atomit absorboivat Ar plus -ionien kineettistä energiaa ja irtautuvat alkuperäisestä hilasta, ja neutraalit kohdeatomit pakenevat kohteen pinnalta. Lennä alustalle ja kerrosta ohut kalvo alustalle.
Tyhjiö päällystyskone magnetron sputterointi järjestelmä
Magnetronisputterointijärjestelmässä 100-1000 Gaussin voimakas magneetti sijoitetaan katodikohteen taakse ja tyhjiökammio täytetään inertillä kaasulla (Ar), jonka paine on 011-10 Pa kaasun kantajaksi. purkaa. Korkean jännitteen vaikutuksesta Ar-atomit ionisoituvat Ar plus -ioneiksi ja elektroneiksi. Kiihtyessään ja lentäessään substraatille elektroneihin vaikuttaa sähkökenttää vastaan kohtisuorassa oleva magneettikenttä, mikä saa elektronit taipumaan ja sitoutumaan plasma-alueella lähellä kohdepintaa. Se etenee pitkin kohdepintaa sykloidisesti ja törmää Ar-atomien kanssa jatkuvasti liikkeen aikana ionisoimalla suuren määrän Ar plus -ioneja.
Tyhjiöpäällystimen erittäin korkea kovuus ja kulutuskestävyys
1. Koska pinnalla olevan pinnoitemateriaalin kovuus ja kulutuskestävyys ovat erittäin korkeat verrattuna päällystämättömään kovametalliin, päällystetty kovametalli mahdollistaa suuremman leikkausnopeuden, mikä parantaa käsittelyn tehokkuutta; Parantaa merkittävästi työkalun kestävyyttä samalla leikkausnopeudella.
2. Koska pinnoitemateriaalin ja käsiteltävän materiaalin välinen kitkakerroin on pieni, pinnoitetun terän leikkausvoima pienenee jossain määrin pinnoittamattomaan terään verrattuna.
3. Kun pinnoitettu terä on käsitelty, käsitellyn pinnan laatu on parempi.
4. Hyvän kokonaisvaltaisen suorituskyvyn ansiosta pinnoitettu terä on monipuolisempi. Päällystetyllä terälaadulla on laaja valikoima sovelluksia.
www.superbheater.com
