Ohut kalvojen kerrostaminen alustoille sputterointimenetelmällä tyhjiöpäällystimellä

Ohut kalvojen kerrostaminen alustoille sputterointimenetelmällä tyhjiöpäällystimellä

Sputterointi on ilmiö, jossa varautuneita hiukkasia (yleensä inertin kaasun positiivisia ioneja) käytetään pommittamaan kiinteän aineen (jäljempänä kohde) pintaa, jolloin kohteen pinnalla olevat atomit (tai molekyylit) pakenevat se. Grove havaitsi tämän ilmiön vuonna 1842 tutkiessaan kokeellisesti katodisen korroosion ongelmaa, kun katodimateriaali siirtyi tyhjiöputken seinämään. Tyhjiöpäällystin, joka käytti tätä sputterointimenetelmää ohuiden kalvojen kerrostamiseen alustalle, otettiin käyttöön vuonna 1877.

Tyhjiöpäällystyskoneen luokitus ja käyttöalue

Yleensä käyttämämme työkappaleen kaasunpoistomenetelmä on paistaminen, ja työkappaleen kaasu ja kosteus poistetaan kuumentamalla. Ennen pinnoittamista työkappale lämmitetään pumppauksen aikana. Yhdessä alipainekammiossa olevan kaasun kanssa se pumpataan ulos tyhjiöpumpulla.

Eri työkappaleille suoritetaan erilaisia ​​kaasunpoistotoimenpiteitä, joilla voidaan tehokkaasti hallita kaasun ja kosteuden päästöjä työkappaleen sisällä ja parantaa pinnoitteen vakautta ja tasaisuutta. Tyhjiöpäällystyskoneen luokitus ja soveltamisala Tyhjiöpäällystyskoneella tarkoitetaan pääasiassa pinnoitustyyppiä, joka on suoritettava korkeassa tyhjiössä, mukaan lukien monet tyypit, mukaan lukien tyhjiö-ionihaihdutus, magnetronisputterointi, MBE-molekyylisäteen epitaksi, PLD-laserruiskutus Ja niin monenlaisia.

Tyhjiöpäällystyskoneen todennäköisyys riippuu itse työkappaleen fysikaalisista ominaisuuksista

Joissakin työkappaleissa itsessään on paljon kaasua, kosteutta jne. Nämä aineet poistuvat tyhjiökammioon, kun laitteistoa lämmitetään, mikä vähentää alipaineastetta. Lisäksi joissakin kaasuissa on myrkyllisiä komponentteja, jotka vahingoittavat suoraan tyhjiökammiota. Sisäinen mekaaninen rakenne aiheuttaa sen, että laite ei toimi kunnolla. Lisäksi pinnoitusprosessin aikana pinnoitettu kalvo on helppo murtaa työkappaleessa olevan kaasun kuumenemisen ja laajenemisen vuoksi. Tietenkin tämän tilanteen todennäköisyys riippuu itse työkappaleen fysikaalisista ominaisuuksista, kuten muovista, joka on helppo laajentaa, todennäköisyys on suhteellisen korkea. Koville materiaaleille, kuten metallille, todennäköisyys on suhteellisen pieni, mutta sitä ei voida jättää huomiotta, joten työkappaleen kaasunpoisto on erittäin tarpeellista.

Tyhjiötila on ympäristö, joka tukee tyhjiöpäällystyskoneen, erityisesti suurta alipaineastetta vaativien laitteiden, toimintaa. Yleensä meidän on saavutettava korkea tyhjiöaste. Ilmanpoistojärjestelmän rooli on välttämätön, mutta ilmanpoistojärjestelmän lisäksi tyhjiöpäällystyslaitteistossa Käyttöprosessissa toinen kohta on työkappaleen kaasunpoisto.

www.superbheater.com