Perinteinen tyhjiögalvanointilaitteiden pinnoitusprosessi

Perinteinen tyhjiögalvanointilaitteiden pinnoitusprosessi

Optiset ohutkalvot toteutetaan suurtyhjiöpinnoitekammiossa. Perinteiset päällystysprosessit vaativat korkeampia alustalämpötiloja (tyypillisesti noin 300 astetta); edistyneempiä tekniikoita, kuten ioniavusteista kerrostusta (IAD), voidaan suorittaa huoneenlämpötilassa. IAD-prosessi ei ainoastaan ​​tuota kalvoja, joilla on paremmat fysikaaliset ominaisuudet kuin tavanomaisilla päällystysprosesseilla, vaan sitä voidaan levittää myös muovisille alustoille. Perinteinen ohutkalvopinnoitusmenetelmä on ollut lämpöhaihdutus joko resistiivisesti lämmitetyillä haihdutuslähteillä tai elektronisuihkuhaihdutuslähteillä. Kalvon ominaisuudet määräytyvät pääasiassa kerrostuneiden atomien energiasta, joka on vain noin 0,1 eV tavanomaisessa haihduttamisessa. IAD-pinnoitus johtaa ionisoituneen höyryn suoraan kerrostumiseen ja lisää aktivointienergiaa kasvavaan kalvoon, tyypillisesti luokkaa 50 eV. Ionilähde parantaa tavanomaisen elektronisuihkuhaihdutuksen kalvoominaisuuksia ohjaamalla säteen ionipistoolista substraatin pintaan ja kasvavaan kalvoon.

Ohutkalvojen optiset ominaisuudet, kuten taitekerroin, absorptio ja laservauriokynnys, riippuvat pääasiassa kalvokerroksen mikrorakenteesta. Kalvomateriaali, jäännöskaasun paine ja alustan lämpötila voivat kaikki vaikuttaa kalvon mikrorakenteeseen. Jos haihduttamalla kerrostuneilla atomeilla on alhainen liikkuvuus substraatin pinnalla, kalvo sisältää mikrohuokosia. Kun kalvo altistetaan kostealle ilmalle, nämä huokoset täyttyvät vähitellen vesihöyryllä.

Tyhjiöpäällystyslaitteet Kemiallinen höyrypinnoitustekniikka

DLC on kemiallinen höyrypinnoitustekniikka, tyhjiöympäristössä inertin kaasun avulla hiiliatomit kerääntyvät pinnoitetun osan pinnalle muodostaen kerroksia kompakteja timanttikiteitä, ja koska nämä hiiliatomit prosessoidaan ja kaikki ovat kaksinkertaisia. sidosrakenne, joten atomien ja atomien välinen sidos on erittäin tiivis, joten pinnoitetuilla osilla on DLC-käsittelyn jälkeen pinnan kovuus (noin 3500 Hv), stabiilisuus ja sileys, joka voi ylittää keraamiset materiaalit, sekä rakenne ja sitkeys. Yllä oleva on paljon parempi kuin perinteinen keraaminen materiaali, mutta koska kustannukset ovat paljon korkeammat kuin PVD:n, sitä käytetään tällä hetkellä vain kelloissa, joiden yksikköhinta on keskihintainen ja korkea.

www.superbheater.com