Tyhjiöhopeapinnoitus- ja magnetronipinnoituskoneiden yhteiset ominaisuudet
Jätä viesti
Tyhjiöhopeapinnoitus- ja magnetronipinnoituskoneiden yhteiset ominaisuudet
Magnetronipinnoituskoneen magnetronisputteroinnilla on erilaisia toimintaperiaatteita ja käyttökohteita. Mutta niillä kaikilla on yksi yhteinen piirre: magneetti- ja sähkökenttien vuorovaikutus saa elektronit kiertämään kohteen pinnan ympäri, mikä lisää todennäköisyyttä, että elektronit osuvat argoniin tuottamaan ioneja. Syntyneet ionit törmäävät kohteen pintaan sähkökentän vaikutuksesta ja sputteroivat siten kohteen.
Magnetronin päällystyskoneen kohdelähde voidaan jakaa tasapainotettuun ja epätasapainoiseen tyyppiin. Tasapainotettu kohdelähdepinnoite on tasainen, ja epätasapainoisella kohdelähdepinnoitteella on vahva tarttuvuus alustaan. Tasapainotettuja kohdelähteitä käytetään enimmäkseen optisiin puolijohdekalvoihin ja balansoimattomia kohdelähteitä käytetään enimmäkseen koristekalvojen pukemiseen. Magnetronikatodit voidaan karkeasti jakaa balansoituihin ja balansoimattomiin magnetronkatodeihin eri magneettikenttäkonfiguraatioiden mukaan. Magneettiteräksen magneettivuo tasapainotetun magnetronin katodin sisällä ja ulkopuolella on suunnilleen yhtä suuri, ja kaksinapaiset magneettikenttäviivat ovat suljettuina kohdepinnalla, mikä voi rajoittaa elektroneja/plasmaa lähellä kohdepintaa, mikä lisää todennäköisyyttä törmäysten välttämiseksi ja parantaa ionisaatiotehokkuutta.
Tyhjiöhopeapinnoitus Jokainen järjestelmä voi suorittaa eri toiminnot
Täydellinen magnetronisputterointityhjiöpinnoituskone koostuu useista osista, jokainen järjestelmä voi suorittaa erilaisia toimintoja ja lopulta saavuttaa lopullisen korkealaatuisen pinnoitteen. Magnetronisputterointipäällystyslaitteisto koostuu tyhjiökammioista, venttiileistä ja tyhjiönottojärjestelmistä. , alipainemittausjärjestelmä, katodikohde, sähköinen ohjausjärjestelmä ja muut komponentit.
Magnetronisputterointipäällystimen päärunko on tyhjökammio, ja tyhjiökammion koko määräytyy tuotesubstraatin koon ja käyttäjän kapasiteetin mukaan. Ontelo on valmistettu ruostumattomasta SUS304 teräksestä, etuna on, että se ei ole helppo ruostua, kestävämpi kuin hiiliteräs ja helppo huoltaa. On olemassa monenlaisia magnetronisputterointimenetelmiä, yleisesti käytetty monikaari-ionipinnoitus, välitaajuussäätöpinnoitus jne. Magnetronisputterointimenetelmällä muodostetulla pinnoitekerroksella on vahva adheesio, kalvon korkea puhtaus ja se voidaan sputteroida samalla kertaa. aika. ainesosa materiaalia.
www.superbheater.com
